3月26日,2025中国国际半导体设备和材料展(SEMICON China 2025)在上海国家会展中心举行。
在这个全球半导体产业中极具影响力的年度盛会中,一家此前鲜少露面的中国公司——深圳新凯来工业机器有限公司(以下简称“新凯来”)成为全场焦点。
会场内,展位参观者络绎不绝,现场发布的一连串新品,更是成为大家争相拍摄记录的对象;会场外,多家半导体行业专业媒体、财经专业媒体相继发出专门报道,聚焦这家来自深圳的“半导体新贵”。
本次新凯来通过照片和模型的方式展示了其多款产品,其中关注度最高的当属EPI“峨眉山”产品、ETCH“武夷山”产品、CVD“长白山”产品、PVD(普陀山)产品、ALD“阿里山”产品。
据了解,EPI外延层是半导体制造中的重要技术,尤其是在先进制程和第三代半导体领域。ETCH蚀刻是半导体制造工艺,微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一道相当重要的步骤,是与光刻相联系的图形化(pattern)处理的一种主要工艺,目前主要由国际巨头主导;CVD化学气相沉积是半导体制造中需求量最大的设备之一,PVD物理气相沉积、ALD原子层沉积等都是半导体制造工艺当中非常重要的高端设备。
深圳新凯来技术有限公司成立于2021年,是深圳市重大产业投资集团旗下的国有高科技企业,专注于半导体设备及零部件的研发与制造,致力于解决国内半导体产业链的“卡脖子”问题。该公司背靠深圳国资委的强大支持,注册资本达15亿元,通过整合华为的技术基因与国有资本的战略资源,迅速在半导体设备领域崭露头角。成立仅三年多,新凯来便在2025年SEMICON China展会上首次公开亮相,推出覆盖刻蚀、薄膜沉积、量检测等关键环节的31款设备,并以中国名山命名,如“武夷山刻蚀机”“阿里山ALD设备”,既彰显技术实力又蕴含文化自信,迅速成为行业焦点。
新凯来的快速发展得益于其独特的“国家战略+地方创新”协同模式。深圳国资委通过全资控股的重大产业投资集团,为其提供专项研发资金和政策扶持,形成“材料-零部件-整机”全链条研发能力,并推动其技术标准国际化。例如,新凯来在薄膜沉积、刻蚀等关键设备领域实现了技术突破,其ALD(原子层沉积)和EPI(外延沉积)设备的性能参数已接近国际领先水平,部分产品可支持5纳米及以下先进制程,填补了国内高端设备的空白。此外,公司采用全自研模式,从底层材料、传感器到AI算法均自主开发,甚至解决了晶圆加工中电荷释放速率慢等行业痛点,显著提升了设备的稳定性和效率。
中国半导体产业的国产替代需求为新凯来提供了广阔的市场空间。在中美技术博弈加剧的背景下,国际巨头长期垄断光刻机、离子注入机等关键设备,而国内厂商的国产化率极低(如量检测设备国产化率不足5%)。新凯来凭借技术突破迅速切入这一市场,其光学检测设备、原子力显微镜等产品已通过客户验证并进入量产,直接服务于中芯国际、长江存储等国内头部芯片制造企业,降低了产业链对外依赖。同时,深圳作为中国半导体产业第三极,正通过整合中芯深圳、华润微电子等制造项目,构建从设计到制造的完整生态,为新凯来提供了协同创新的产业环境。
新凯来的崛起也反映了中国半导体产业从“单点突破”向“全链条自主可控”的战略转型。其技术突破不仅覆盖前道制造设备,还通过布局第三代半导体材料和封装测试领域,推动产业链整体升级。例如,公司计划未来3-5年补全光刻机、CMP(化学机械抛光)等短板,并探索通过国际合作或并购加速技术积累。这种以国家意志为引领、以市场需求为导向的发展路径,使得新凯来成为国产半导体设备“去依附化”的核心力量,甚至可能在未来重塑全球半导体供应链格局。